
El recocido láser gana peso en chips SiC, NAND de 400 capas y nodos avanzados
El recocido láser está pasando de ser una técnica especializada dentro de la fabricación de semiconductores a convertirse en una herramienta cada vez más importante para tres áreas de crecimiento: los chips de potencia basados en carburo de silicio, las memorias NAND 3D de más de 400 capas y los procesos lógicos más avanzados. La razón es sencilla: a medida que los materiales se vuelven más difíciles de procesar y las estructuras se hacen más profundas o más pequeñas, aplicar calor de forma precisa, localizada y durante tiempos muy cortos puede marcar la diferencia entre un proceso viable y otro demasiado agresivo para la oblea. El recocido, o annealing, es un tratamiento térmico utilizado para reparar daños en la red



